磁控溅射(菲尔姆)
日期:2022-06-20 22:31:00  发布人:实验设备处  浏览量:

设备名称

磁控溅射仪

英文名称

Magnetron Sputtering Equipment

仪器类型

材料薄膜制备

规格型号

菲尔姆SCS-350

仪器类别

通用

生产厂商

湖南菲尔姆真空设备有限公司

所在单位

黄淮学院

能源工程学院

联系人

宋老师、刘老师

联系电话

0396-2853226

电子邮箱

keyan@huanghuai.edu.cn

仪器地址

黄淮学院7号教学楼203

技术指标

1. 水冷式溅射源,通用2英寸设计

2. MFC流量计高精度控制过程气体

3. DC/RF溅射电源可选

4. 全自动触摸屏控制方案

5. 最多2个溅射源

6. 500℃衬底加热

7. 衬底旋转,Z向调节

主要功能

用于溅射金属和/或者陶瓷膜层

服务内容

对固定参数样片制备

用户须知

仪器设有专门仪器管理员,需要提前预约使用。

收费标准

校外800/每样,校内400/每样

设备图片




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