磁控溅射(菲尔姆)
日期:2022-06-20 22:31:00 发布人:实验设备处
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设备名称 |
磁控溅射仪 |
英文名称 |
Magnetron Sputtering Equipment |
仪器类型 |
材料薄膜制备 |
规格型号 |
菲尔姆SCS-350 |
仪器类别 |
通用 |
生产厂商 |
湖南菲尔姆真空设备有限公司 |
所在单位 |
黄淮学院 能源工程学院 |
联系人 |
宋老师、刘老师 |
联系电话 |
0396-2853226 |
电子邮箱 |
keyan@huanghuai.edu.cn |
仪器地址 |
黄淮学院7号教学楼203 |
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技术指标 |
1. 水冷式溅射源,通用2英寸设计 2. MFC流量计高精度控制过程气体 3. DC/RF溅射电源可选 4. 全自动触摸屏控制方案 5. 最多2个溅射源 6. 500℃衬底加热 7. 衬底旋转,Z向调节 |
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主要功能 |
用于溅射金属和/或者陶瓷膜层 |
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服务内容 |
对固定参数样片制备 |
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用户须知 |
仪器设有专门仪器管理员,需要提前预约使用。 |
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收费标准 |
校外800元/每样,校内400元/每样 |
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设备图片 |
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